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HfO2 铁电薄膜具有显著的唤醒效应,榜首这种现象与电场作用下多晶膜内部相变、缺陷重新分布、以及极化电荷注入均有关系。当超过某个浓度,远光优秀P42/nmc相(反铁电相)占主导,见图2(b)。
在外延薄膜中,软件入选软件铁电相可以通过薄膜与衬底的外延晶格失配应力稳定。图6 HZO外延膜结构及薄膜与衬底LSMO/STO的外延取向关系 ©2022TheAuthors表2. 多晶和外延HfO2薄膜铁电性能对比 ©2022TheAuthors五、广东工业【成果启示】最后,广东工业作者展望了HfO2铁电薄膜研究中仍存在的科学问题。